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中國能生產光刻機和5納米芯片嗎?

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華為斷供

自從9月15日,美國的芯片禁令開始后,英特爾、AMD、韓國的三星、LG、SK海力士等,以及日本的鎧俠、索尼、東芝等芯片巨頭,開始陸續宣布對華為斷供。

雖然,英特爾和AMD后來都獲得,重新向中國提供電腦芯片的準許證。可是,手機芯片一直沒得到恢復,華為的手機業務可以說是直接被打趴了。

7nm工藝麒麟芯片無法生產,華為Mate40系列手機立馬成麒麟絕唱。

10月14日,ASML的首席財務官RogerDassen就向中國出口光刻機的問題發表了口頭聲明。他說:“與中芯國際等中國客戶的業務往來,表示一些情況下,出口DUV(深紫外)光刻機,無需美國許可。”

中國能生產光刻機和5納米芯片嗎?

這是肯定的,但是目前為止,中國的光刻機和芯片離世界先進水平還有不少差距,不過中國正在加速追趕。

什么是光刻機?

一臺光刻機由上萬個部件組成,有人形容光刻機是一種集合了數學、光學、流體力學、高分子物理與化學、表面物理與化學、精密儀器、機械、自動化、軟件、圖像識別領域頂尖技術的產物。

光刻機是芯片制造的核心設備之一。

按照用途可以分為好幾種:

有用于生產芯片的光刻機;

有用于封裝的光刻機;

還有用于LED制造領域的投影光刻機。

用于生產芯片的光刻機是中國在半導體設備制造上最大的短板。

光刻機被稱為“人類最精密復雜的機器”,該領域的龍頭老大是荷蘭ASML,并已經壟斷了高端光刻機市場。

荷蘭ASML公司EUV光刻機的價格約為1.48億歐元,折合人民幣大概11.65億元左右。而且ASML的EUV光刻機也產量很低,供不應求,必然會優先考慮自己的大客戶,如臺積電等。

數據顯示,2019年全球半導體芯片市場銷售額達4376億美元,其中中國市場銷售額達1942億美元,約占全球總銷售額的44%。

作為全球第一大市場,中國企業只要能拿下一半的市場份額,就足以躋身世界芯片制造大國的行列,因為目前世界芯片第一大國美國,每年的銷售額在1000億美元左右。

ASML第三季度財報顯示,ASML當季總共銷售60部光刻系統,凈銷售額為40億歐元(約320億人民幣),凈收入11億歐元,毛利率達到了47.5%,營收攀升至39.58億歐元,其中,中國貢獻了21%的份額。

芯片的制造流程

芯片和內存條一樣,都是由集成電路組成的半導體,而它們的主要原材料就是沙子里面的硅。

那么從沙子里面的硅到一枚芯片需要經歷原材料提純,高溫融化,切片成為半導體原料,之后就是刻畫晶體管電路,放進高溫爐里面烤形成納米級的二氧化硅膜,完事之后還要在薄膜上鋪一層感光層,為接下來最重要的光蝕"雕刻"做準備。

這前面的工作其實都挺簡單的,光蝕"雕刻"才是難的,光刻機要在芯片上刻出20層的信息層,相當于在指甲片的晶圓面積上放下整個紐約市的地圖信息,之后才是封裝、切割、測試等后續工作。

光刻機制造有多么難?

光刻機有一個外號——人類歷史上最精密最復雜的儀器。

簡單的說,一輛汽車的零部件差不多有5000件,而一臺頂級的euv光刻機零部件能達到10萬件,涉及到上游5000多個供應商,集合了力學,光學等頂尖物理技術,所以說一臺光刻機的復雜程度難以想象。

現在最先進的光刻機制造商只有荷蘭一家獨大企業阿斯麥,其一臺euv光刻機就值1.48億美元,這代表你有錢還買不到,真正可以說的上是得光刻機者得芯片產業。

2005年的時候,阿斯麥、日本佳能和尼康都在研發,結果后來佳能和尼康熬不住了,沒成果又沒市場。

阿斯麥其實也熬不住想放棄,但客戶不答應,聯合又給他50億歐元的經費支撐,才順利生產了出來。

目前,中國光刻機什么水平?

目前,我國大陸還沒有一臺這種頂級euv光刻機。

現有我國大陸光刻精度最高的只能做到14nm,還是買的光刻機。

不過臺積電現在的制造工藝能達到5nm跟7nm。

那么,中國大陸現在能造出自己的光刻機嗎?

答案是:當然

上海微電子裝備有限公司(SMEE)已經量產的光刻機中,性能最好的SSA600/20工藝只能達到90nm,相當于2004年上市的奔騰四CPU的水準。

而國外的先進水平已經達到了7納米,正因如此,國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。

不過,國內在芯片代工技術上,已經開始有所突破。

10月12日,中芯國際官宣完成了FinFETN+1先進工藝的芯片流片和測試,所有環節全部是自主國產。

中芯國際聯合CEO梁孟松曾在財報電話會議上披露,中芯國際N+1制程工藝與14nm制程工藝相比,性能提升20%、功耗降低57%、邏輯面積縮小63%、SoC面積減少55%。

而且N+1工藝在功率和穩定性方面和7nm工藝非常相似,不需要EUV光刻機,但在性能方面提升還不夠,所以N+1工藝是面向低功耗應用領域的。

雖然現在這款芯片還在流片測試階段,沒進行量產。

可是從長期來看,這也算是中國芯發展進程里的一大進步,為國產半導體生態鏈再立新功。

在追趕國際先進水平方面,中芯國際仍有很長很長的路要走。

中國被稱為世界工廠已經有20年時間,而中國最大的芯片制造企業中芯國際成立至今剛好也是20年。

《中國制造2025》也將EUVL列為了集成電路制造領域的發展重點對象,并計劃在2030年實現EUV光刻機的國產化。

最后:

隨著國家對芯片領域大幅度投資和持續投入,相信中國的光刻機發展也將最終進入大規模自主生產的階段。

對于中國來說,一切只是時間問題。