rms四個設備是哪四個？

RMS系統組成包含設備通訊模塊、MES通訊模塊、Recipe管理模塊、設備生產監控模塊。

RMS全稱Equipment Recipe Manager System，也有叫EAP( Equipment Automation Process),只是個不同的叫法，其實原理都一樣，都是通過SECS\GEM通訊協議與設備交互。